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Jede Kammer kann zur Erfüllung spezifischer Anforderungen ausgelegt werden, indem unterschiedliche Prozesse miteinander kombiniert werden (z. B. Sputtern, Verdampfung, E-Beam …).
Ein Cassette-to-Cassette-Load-Lock ist mit einem Transfermodul verbunden, von dem aus die Proben in die Prozesskammer transportiert werden können. Dieses ist mit einer automatisierten zentralen Kammer gekoppelt, die in der Lage ist, in jedem Modul mehrere Proben zu handhaben – unter durchgehender Aufrechterhaltung des Vakuums.
Es handelt sich daher um Systeme, die individuell geplant und maßgeschneidert gefertigt werden.
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Komponenten für die Dünnschichtabscheidung
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HI.P.PO.
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