Kathodischer Lichtbogen
Es handelt sich um eine seit mehr als einem Jahrhundert bekannte PVD-Technologie, die im Bereich Forschung und Entwicklung weit verbreitet ist und in jüngerer Zeit auch in Industriezweigen eingeführt wurde, in denen widerstandsfähige und dekorative Beschichtungen gefragt sind. Besonders geeignet ist sie dort, wo eine höhere Abdeckung und Haftung erforderlich ist, insbesondere bei komplexen Geometrien.
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- Hohe und effiziente Erzeugung von metallischem Plasma
- Hervorragende mechanische Eigenschaften sowie hohe Beständigkeit und ansprechende Optik der Beschichtung
- Eine breite und stetig wachsende Palette an verarbeitbaren Materialien
Die Kammer ist wassergekühlt und kann mit einfach oder doppelt rotierenden Substrathaltern geliefert werden, um flache oder 3D-Proben zu beschichten.
Jede Konfiguration kann mit folgenden Merkmalen ausgestattet werden:
- Beheizbare Halterungen bis 400 °C
- Isolierter Substrathalter für Biasing und Plasmareinigung
- Lichtbogenquellen mit 63 mm oder 100 mm Durchmesser (Eigenentwicklung)
Optionale Plasmaionenquelle zur Reinigung nichtleitender Substrate.
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