Komponenten für die Dünnschichtabscheidung
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- Betrieb im DC-, gepulsten DC-, RF- und HiPIMS-Modus möglich
- Direkte oder indirekte gerichtete Wasserkühlung
- Schutzblende gegen Kreuzkontamination, Dark-Space-Blende und Schraubklemme für einen einfachen Targetwechsel
- Targetdicke von 1 bis 6,35 mm (mit geeigneter Klemme)
- Magnetsätze für leitfähige, isolierende oder ferromagnetische Materialien (vorkonfiguriert)
- HV- oder UHV-Bereich (vorkonfiguriert)
- Interne oder externe Montage (vorkonfiguriert)
- Betriebsdruck von 2 × 10⁻³ mbar bis 2 × 10⁻² mbar
Runde Magnetrone
- Standard-Targets für runde Magnetrone in 2″, 3″ oder 4″ (größere Ausführungen auf Anfrage)
- Neigung (Tilt) bzw. –25° und Gasring (optional)
- Diodenversion verfügbar
Rechteckige Magnetrone
- Rechteckige Magnetrone mit Standard-Targetabmessungen: 8″ × 3″, 12″ × 3″, 16″ × 5″, 22″ × 5″, 43″ × 5″
- Weitere Abmessungen sind auf Anfrage möglich
- Kathodendurchmesser: 63 oder 100 mm
- Bis zu 250 A
- Arc-Trigger-Zündung – exklusives Design von Kenosistec
- Schneller Schutz bei Kurzschluss des Triggers
- Spezielle Dark-Space-Abschirmung zur Reduzierung von Feuchtigkeit
- Einfache Targetmontage
- Herstellung kostengünstiger Targets
- Effektive Targeterosion
Durch die lineare Anordnung dieser Quellen kann die gewünschte Dünnschicht auch auf großen Flächen abgeschieden werden.
In dieser Konfiguration kann jede Quelle individuell eingestellt werden, um eine optimale Beschichtungsuniformität zu erzielen.
- Manipulatoren (manuelle und motorisierte Bewegungen)
- Heizer
- Vakuum-Transfergefäße
- Durchführungen
- Spezialflansche
- Fenster
- Kryofallen
- Gasverteilungssysteme für hochreine Gase
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