{"id":5758,"date":"2023-12-04T11:00:28","date_gmt":"2023-12-04T10:00:28","guid":{"rendered":"https:\/\/www.kenosistec.com\/peng-tong-tech-sceglie-kenosistec-per-il-suo-nuovo-cluster\/"},"modified":"2026-04-03T12:51:17","modified_gmt":"2026-04-03T10:51:17","slug":"peng-tong-tech-waehlt-kenosistec-fuer-seinen-neuen-cluster","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.kenosistec.com\/de\/peng-tong-tech-waehlt-kenosistec-fuer-seinen-neuen-cluster\/","title":{"rendered":"Peng Tong Tech w\u00e4hlt Kenosistec f\u00fcr seinen neuen Cluster"},"content":{"rendered":"<p>[et_pb_section fb_built=&#8220;1&#8243; _builder_version=&#8220;4.23.1&#8243; _dynamic_attributes=&#8220;background_image&#8220; use_background_color_gradient=&#8220;on&#8220; background_color_gradient_stops=&#8220;rgba(0,0,0,0.5) 0%|rgba(0,0,0,0.5) 100%&#8220; background_color_gradient_overlays_image=&#8220;on&#8220; background_image=&#8220;@ET-DC@eyJkeW5hbWljIjp0cnVlLCJjb250ZW50IjoicG9zdF9mZWF0dXJlZF9pbWFnZSIsInNldHRpbmdzIjp7fX0=@&#8220; saved_tabs=&#8220;all&#8220; global_colors_info=&#8220;{}&#8220;][et_pb_row _builder_version=&#8220;4.16&#8243; global_colors_info=&#8220;{}&#8220;][et_pb_column type=&#8220;4_4&#8243; _builder_version=&#8220;4.16&#8243; custom_padding=&#8220;|||&#8220; global_colors_info=&#8220;{}&#8220; custom_padding__hover=&#8220;|||&#8220;][et_pb_post_title meta=&#8220;off&#8220; featured_image=&#8220;off&#8220; _builder_version=&#8220;4.23.1&#8243; title_font=&#8220;|700||on|||||&#8220; title_text_align=&#8220;left&#8220; title_text_color=&#8220;#ffffff&#8220; title_font_size=&#8220;50px&#8220; title_font_size_tablet=&#8220;40px&#8220; title_font_size_phone=&#8220;30px&#8220; title_font_size_last_edited=&#8220;on|phone&#8220; global_colors_info=&#8220;{}&#8220;][\/et_pb_post_title][\/et_pb_column][\/et_pb_row][\/et_pb_section][et_pb_section fb_built=&#8220;1&#8243; _builder_version=&#8220;4.23.1&#8243; _module_preset=&#8220;default&#8220; global_colors_info=&#8220;{}&#8220;][et_pb_row _builder_version=&#8220;4.23.1&#8243; _module_preset=&#8220;default&#8220; global_colors_info=&#8220;{}&#8220;][et_pb_column type=&#8220;4_4&#8243; _builder_version=&#8220;4.23.1&#8243; _module_preset=&#8220;default&#8220; global_colors_info=&#8220;{}&#8220;][et_pb_text _builder_version=&#8220;4.27.6&#8243; _module_preset=&#8220;default&#8220; header_3_font=&#8220;|700|||||||&#8220; header_4_line_height=&#8220;2em&#8220; global_colors_info=&#8220;{}&#8220;]<\/p>\n<h3>Peng Tong Tech suchte nach einer Cluster-Anlage zur D\u00fcnnschichtabscheidung f\u00fcr den Halbleitersektor.<\/h3>\n<h4><strong>Der Kunde<\/strong><\/h4>\n<p><strong>Peng Tong Tech<\/strong> ist ein chinesisches <strong>Halbleiterunternehmen<\/strong> mit einer starken Reputation in der Branche. Das 2017 gegr\u00fcndete Unternehmen ist im Laufe der Jahre kontinuierlich gewachsen und hat sich zu einem wichtigen Akteur auf dem globalen Halbleitermarkt entwickelt. <strong>PTT<\/strong> ist auf die <strong>Entwicklung<\/strong>, <strong>Produktion<\/strong> und <strong>Vermarktung<\/strong> einer breiten Palette leistungsstarker Produkte spezialisiert, darunter <strong>Anlagen f\u00fcr die Halbleiterfertigung<\/strong> sowie <strong>neue<\/strong>, <strong>\u00fcberholte<\/strong> und <strong>kundenspezifische Ersatzteile<\/strong>.<\/p>\n<h4><strong>Die Anfrage<\/strong><\/h4>\n<p>Peng Tong Tech wollte eine <strong>Cluster-Anlage<\/strong> f\u00fcr die <strong>Abscheidung d\u00fcnner Schichten<\/strong> im Bereich <strong>Halbleiter<\/strong> anschaffen. Entscheidend war, dass dieses System w\u00e4hrend aller Prozessphasen \u2013 einschlie\u00dflich <strong>Be- und Entladung der Proben<\/strong> \u2013 das <strong>Vakuum aufrechterhalten<\/strong> kann, um die Betriebseffizienz zu optimieren und gleichzeitig die Produktivit\u00e4t zu steigern.<\/p>\n<p>Die zentralen Anforderungen waren:<\/p>\n<ul>\n<li>Entwicklung einer Maschine, die einen <strong>kontinuierlichen und effizienten Workflow<\/strong> erm\u00f6glicht<\/li>\n<li>Konstruktion eines <strong>hochflexiblen Systems<\/strong>, das Proben unterschiedlicher Gr\u00f6\u00dfen sowie verschiedene Prozesse zur Beschichtung unterschiedlicher Substrate handhaben kann<\/li>\n<li>Auslegung einer Anlage, die <strong>Wartung<\/strong>, <strong>Reinigung<\/strong> und den <strong>Austausch von Komponenten<\/strong> vereinfacht<\/li>\n<li>Entwicklung einer Maschine f\u00fcr die <strong>Forschungsarbeit<\/strong>, insbesondere f\u00fcr die Abscheidung von <strong>metallischen<\/strong> oder <strong>isolierenden Schichten<\/strong>, jedoch auch mit der F\u00e4higkeit, <strong>kleine Produktionsmengen<\/strong> zu verarbeiten<\/li>\n<\/ul>\n<h4><strong>Die L\u00f6sung<\/strong><\/h4>\n<p>Kenosistec entwickelte eine <strong>ma\u00dfgeschneiderte L\u00f6sung<\/strong>, die die Erwartungen von Peng Tong Tech vollst\u00e4ndig erf\u00fcllte. Entstanden ist das Modell <strong>KS 600 HR<\/strong>, ein <strong>Cluster-System<\/strong> mit <strong>horizontalem Sputtering<\/strong> und <strong>doppelter Substratrotation<\/strong>.<\/p>\n<p>Das System verf\u00fcgt \u00fcber eine <strong>Be- und Parkstation<\/strong>, die vom restlichen Maschinenaufbau isoliert ist. Dadurch werden <strong>Vakuumverluste<\/strong> vermieden, da es sich um die einzige Komponente handelt, die einen Kontakt zur Au\u00dfenumgebung erfordert.<\/p>\n<p>Die <strong>KS 600 HR<\/strong> kann mit <strong>runden, quadratischen oder unregelm\u00e4\u00dfig geformten Proben<\/strong> arbeiten. Die Prozesskammern sind mit <strong>abnehmbaren Abschirmungen<\/strong> ausgestattet, um die Reinigung zu erleichtern. Zus\u00e4tzlich erm\u00f6glicht die <strong>Panoramat\u00fcr<\/strong> der Prozesskammer die \u00dcberwachung jeder Phase \u2013 vom <strong>Probenhandling<\/strong> \u00fcber das <strong>\u00c4tzen<\/strong> bis hin zur <strong>Sputtering-Kammer<\/strong>.<\/p>\n<p>Die <strong>KS 600 HR<\/strong> wurde speziell entwickelt, um individuelle Anforderungen und spezifische Anwendungen zu erf\u00fcllen. Sie stellt damit die ideale L\u00f6sung f\u00fcr <strong>Forschungsaktivit\u00e4ten im Halbleiterbereich<\/strong> dar und unterstreicht die bedeutende Zusammenarbeit zwischen <strong>Peng Tong Tech<\/strong> und <strong>Kenosistec<\/strong>.[\/et_pb_text][et_pb_image src=&#8220;https:\/\/www.kenosistec.com\/wp-content\/uploads\/2023\/12\/20230718-092742-copia-1.webp&#8220; title_text=&#8220;20230718-092742-copia (1)&#8220; force_fullwidth=&#8220;on&#8220; _builder_version=&#8220;4.23.1&#8243; _module_preset=&#8220;default&#8220; global_colors_info=&#8220;{}&#8220;][\/et_pb_image][\/et_pb_column][\/et_pb_row][\/et_pb_section]<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Peng Tong Tech hatte sich zum Ziel gesetzt, eine Cluster-Anlage f\u00fcr die Abscheidung d\u00fcnner Schichten im Halbleiterbereich zu erwerben.<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":5266,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_et_pb_use_builder":"on","_et_pb_old_content":"","_et_gb_content_width":"","content-type":"","footnotes":""},"categories":[113],"tags":[],"class_list":["post-5758","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-success-stories"],"yoast_head":"<!-- This site is optimized with the Yoast SEO plugin v28.6 - 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