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Kenosistec hat an der Umr\u00fcstung einer Multikammer-Anlage<\/b> gearbeitet: Die University of Minnesota<\/b> hat einen KS800-Multikammer-Cluster<\/b> erworben.<\/p>\n
Die Anlage wurde bereits 2012<\/b> produziert und an HGST Research<\/b>, eine Tochtergesellschaft von Hitachi<\/b> mit Sitz in San Jos\u00e9, Kalifornien<\/b>, verkauft.<\/p>\n
Sie wurde speziell f\u00fcr die mikroelektronische Forschung<\/b> und f\u00fcr kleine Produktionsmengen im Bereich digitaler Speichertechnologien<\/b> ma\u00dfgeschneidert.<\/p>\n
Das System war mit zwei Sputtering-Prozesskammern<\/b> ausgestattet und daf\u00fcr ausgelegt, transparente leitf\u00e4hige Metalloxidschichten<\/b> sowie nichtleitende Schichten<\/b> auf Substraten mit einem Durchmesser von 6″ und 8″<\/b> abzuscheiden.<\/p>\n
Sp\u00e4ter entschied das Unternehmen, das Werk zu schlie\u00dfen, um sich auf andere Unternehmensziele zu konzentrieren, und die Forschungs- und Entwicklungsabteilung der Universit\u00e4t<\/b> nutzte diese Gelegenheit.<\/p>\n
Heute hat die Anlage ein neues Einsatzfeld gefunden \u2013 in der Forschung zu Nanomagnetismus und Quanten-Spintronik<\/b>.<\/p>\n
Dank ihres \u00e4u\u00dferst flexiblen Designs<\/b> konnte die Umr\u00fcstung mit gro\u00dfer Leichtigkeit durchgef\u00fchrt werden, und das System wurde erfolgreich an neue Anforderungen und Anwendungen angepasst.<\/p>\n
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