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Cluster

Ogni camera può essere progettata per soddisfare dei requisiti specifici unendo diversi processi (ad es. Sputtering, Evaporazione, e-beam…).

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Ogni camera può essere progettata per soddisfare dei requisiti specifici unendo diversi processi (ad es. Sputtering, Evaporazione, e-beam…).

Questi sistemi sono multifunzionali, espandibili, modulari e, per questo, molto flessibili.

A cassette-to-cassette load lock è collegato a un modulo di trasferimento da cui i campioni possono essere spostati fino alla camera di processo ed è interconnesso a una camera centrale automatizzata in grado di gestire più campioni su ciascun modulo, sempre mantenendo il vuoto.

Il numero e il tipo di modulo dipendono dalle esigenze del cliente e dai requisiti di processo. Si tratta quindi di sistemi pensati e creati su misura.

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SODDISFAZIONE OLTREOCEANO
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