SERIE KSA 700-1300 V, impianti PVD per grandi volumi di produzione
La serie KSA è composta da sistemi PVD altamente versatili, progettati per grandi volumi di produzione e per applicazioni decorative.
Completamente automatizzati e facilmente azionabili da un unico operatore, questi impianti industriali per PVD sono caratterizzati da giostre a singola e doppia rotazione. Le giostre possono essere personalizzate per la gestione dei substrati e per l'integrazione alla linea di produzione.
La gamma KSA offre flessibilità nella configurazione delle sorgenti PVD ed è pronta a ospitare Hi.P.Po. (la nuova sorgente brevettata da Kenosistec che permette di incrementare la produttività fino a dieci volte*).
Inoltre, dopo ogni ciclo di deposizione viene elaborato un report che assicura la qualità e l'integrazione del sistema nel processo produttivo del cliente.
*Tempo di deposizione 10 volte inferiore dei tradizionali catodi sputtering rettangolari.
Ogni impianto è dotato delle seguenti caratteristiche:
- Trappola criogenica Polycold e/o sifone back-streaming
- Raffreddamento Dual Zone: acqua calda e fredda
- Software V-See, realizzato da Kenosistec e facile da usare, consente di registrare un'ampia gamma di dati per tracciare e analizzare i processi.
- Set di schermi intercambiabili per una pulizia facile e veloce.
- Giostra su misura in base alle esigenze del cliente
- Tecnologie multiple: Arco catodico, Sputtering (Magnetron Planari, Dual Magnetron rotante, HiPPo), PECVD, trattamento al Plasma.
- Polarizzazione per substrati (BIAS)
- Riscaldamento per substrati (campioni)
| SERIE | KSA 700 V | KSA 1000 V | KSA 1300 V |
| Dimensioni massime per la giostra (*) | ø 750 mm h 900 mm | ø 1100 mm h 1200 mm | ø 1300 mm h 1650 mm |
*Altezza in scala
Download scheda tecnica
Sorgenti di attivazione disponibili:
- Sputtering Magnetron cilindrico e/o planare
- Sorgenti di evaporazione ad Arco catodico
- Sorgenti PECVD
- Sorgente Sputtering Hi.P.Po
Il porta-substrato è costituito da una giostra con doppia rotazione per garantire una maggiore uniformità di rivestimento su campioni 3D.
Per la pulizia campioni, l’impianto è dotato di alimentazione dedicata, collegata alla giostra per un’efficace pulizia al plasma
All’impianto possono essere aggiunti dei componenti per facilitarne l’utilizzo:
- Un carrello speciale per velocizzare il carico/scarico della giostra intercambiabile
- Un set extra di schermi per una manutenzione più rapida
- Viale delle scienze, 23, 20082 Binasco MI
- Tel +39 02 9055200