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Decorative coating solutions for industry

SERIE KSA 700-1300 V, impianti PVD per grandi volumi di produzione

La serie KSA è composta da sistemi PVD altamente versatili, progettati per grandi volumi di produzione e per applicazioni decorative.

Completamente automatizzati e facilmente azionabili da un unico operatore, questi impianti industriali per PVD sono caratterizzati da giostre a singola e doppia rotazione. Le giostre possono essere personalizzate per la gestione dei substrati e per l'integrazione alla linea di produzione.

La gamma KSA offre flessibilità nella configurazione delle sorgenti PVD ed è pronta a ospitare Hi.P.Po. (la nuova sorgente brevettata da Kenosistec che permette di incrementare la produttività fino a dieci volte*).

Inoltre, dopo ogni ciclo di deposizione viene elaborato un report che assicura la qualità e l'integrazione del sistema nel processo produttivo del cliente.

*Tempo di deposizione 10 volte inferiore dei tradizionali catodi sputtering rettangolari.

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Ogni impianto è dotato delle seguenti caratteristiche:

  • Trappola criogenica Polycold e/o sifone back-streaming
  • Raffreddamento Dual Zone: acqua calda e fredda
  • Software V-See, realizzato da Kenosistec e facile da usare, consente di registrare un'ampia gamma di dati per tracciare e analizzare i processi.
  • Set di schermi intercambiabili per una pulizia facile e veloce.
  • Giostra su misura in base alle esigenze del cliente
  • Tecnologie multiple: Arco catodico, Sputtering (Magnetron Planari, Dual Magnetron rotante, HiPPo), PECVD, trattamento al Plasma.
  • Polarizzazione per substrati (BIAS)
  • Riscaldamento per substrati (campioni)
SERIE
KSA 700 V
KSA 1000 VKSA 1300 V
Dimensioni massime
per la giostra (*)
ø 750 mm h 900 mmø 1100 mm h 1200 mm
ø 1300 mm h 1650 mm


*Altezza in scala

Download scheda tecnica

Sorgenti di attivazione disponibili:

  • Sputtering Magnetron cilindrico e/o planare
  • Sorgenti di evaporazione ad Arco catodico
  • Sorgenti PECVD
  • Sorgente Sputtering Hi.P.Po


Il porta-substrato è costituito da una giostra con doppia rotazione per garantire una maggiore uniformità di rivestimento su campioni 3D.

Per la pulizia campioni, l’impianto è dotato di alimentazione dedicata, collegata alla giostra per un’efficace pulizia al plasma

All’impianto possono essere aggiunti dei componenti per facilitarne l’utilizzo:

  • Un carrello speciale per velocizzare il carico/scarico della giostra intercambiabile
  • Un set extra di schermi per una manutenzione più rapida
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