Sistemi ALD/PLD

Sistemi ALD

L’Atomic Layer Deposition (ALD) è una tecnologia che consente di depositare materiale ad alta densità, assicurando un’accurata uniformità.

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È un metodo di deposizione sequenziale – strato su strato – su una superficie di substrato attivato. La tecnologia ALD permette di fondere gli strati in modo continuo attraverso l’uso di precursori liquidi attivati dal plasma o dalla temperatura.

KENOSISTEC ha sviluppato il proprio design ALD, affinandolo in base ai processi e ai requisiti specifici del cliente. Il sistema può essere integrato in soluzioni preesistenti.

Grazie alle reazioni autolimitanti sequenziali, che garantiscono un controllo attento delle dimensioni del rivestimento, la tecnica ALD offre numerosi vantaggi. I più importanti sono:

  • Alto controllo dello spessore del film
  • Eccellente uniformità su tutta la superficie
  • Rivestimento anche di superfici interne o difficilmente accessibili

KENOSISTEC accompagna il cliente nella scelta dello strumento ALD più appropriato per ogni singola applicazione. Inoltre, ogni sistema può essere dotato di un monitoraggio continuo come, ad esempio, un Reed, un interruttore a lamina, normalmente aperto, che si chiude in presenza di un campo magnetico.

Sistemi PLD

Sistemi PLD (pulsed laser deposition)

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La deposizione laser pulsata utilizza un laser pulsato ad alta potenza per irradiare il materiale target, producendo un getto di materiale che viene raccolto su un substrato idoneo, tipicamente portato ad alta temperatura.
Pulsed laser deposition (PLD) è una tecnica di deposizione progettata specificatamente per operare in un ambiente UHV (ovvero Ultra Alto Vuoto).

È estremamente versatile perché semplice e adattabile in base a diversi parametri sperimentali.

La tecnologia PLD viene utilizzata dove altre hanno riscontrato difficoltà o non sono state in grado di effettuare la deposizione.

I vantaggi legati all’uso della PLD sono:

  • Flessibilità sul tipo di materiale da utilizzare come target
  • Grande uniformità dello spessore

Grazie a un’offerta di alta gamma per apparecchiature e processi PLD, KENOSISTEC accompagna il cliente nella scelta dello strumento per Pulsed Laser Deposition più adeguato alle sue esigenze.

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