Peng Tong Tech wählt Kenosistec für seinen neuen Cluster
Peng Tong Tech suchte nach einer Cluster-Anlage zur Dünnschichtabscheidung für den Halbleitersektor.
Der Kunde
Peng Tong Tech ist ein chinesisches Halbleiterunternehmen mit einer starken Reputation in der Branche. Das 2017 gegründete Unternehmen ist im Laufe der Jahre kontinuierlich gewachsen und hat sich zu einem wichtigen Akteur auf dem globalen Halbleitermarkt entwickelt. PTT ist auf die Entwicklung, Produktion und Vermarktung einer breiten Palette leistungsstarker Produkte spezialisiert, darunter Anlagen für die Halbleiterfertigung sowie neue, überholte und kundenspezifische Ersatzteile.
Die Anfrage
Peng Tong Tech wollte eine Cluster-Anlage für die Abscheidung dünner Schichten im Bereich Halbleiter anschaffen. Entscheidend war, dass dieses System während aller Prozessphasen – einschließlich Be- und Entladung der Proben – das Vakuum aufrechterhalten kann, um die Betriebseffizienz zu optimieren und gleichzeitig die Produktivität zu steigern.
Die zentralen Anforderungen waren:
- Entwicklung einer Maschine, die einen kontinuierlichen und effizienten Workflow ermöglicht
- Konstruktion eines hochflexiblen Systems, das Proben unterschiedlicher Größen sowie verschiedene Prozesse zur Beschichtung unterschiedlicher Substrate handhaben kann
- Auslegung einer Anlage, die Wartung, Reinigung und den Austausch von Komponenten vereinfacht
- Entwicklung einer Maschine für die Forschungsarbeit, insbesondere für die Abscheidung von metallischen oder isolierenden Schichten, jedoch auch mit der Fähigkeit, kleine Produktionsmengen zu verarbeiten
Die Lösung
Kenosistec entwickelte eine maßgeschneiderte Lösung, die die Erwartungen von Peng Tong Tech vollständig erfüllte. Entstanden ist das Modell KS 600 HR, ein Cluster-System mit horizontalem Sputtering und doppelter Substratrotation.
Das System verfügt über eine Be- und Parkstation, die vom restlichen Maschinenaufbau isoliert ist. Dadurch werden Vakuumverluste vermieden, da es sich um die einzige Komponente handelt, die einen Kontakt zur Außenumgebung erfordert.
Die KS 600 HR kann mit runden, quadratischen oder unregelmäßig geformten Proben arbeiten. Die Prozesskammern sind mit abnehmbaren Abschirmungen ausgestattet, um die Reinigung zu erleichtern. Zusätzlich ermöglicht die Panoramatür der Prozesskammer die Überwachung jeder Phase – vom Probenhandling über das Ätzen bis hin zur Sputtering-Kammer.
Die KS 600 HR wurde speziell entwickelt, um individuelle Anforderungen und spezifische Anwendungen zu erfüllen. Sie stellt damit die ideale Lösung für Forschungsaktivitäten im Halbleiterbereich dar und unterstreicht die bedeutende Zusammenarbeit zwischen Peng Tong Tech und Kenosistec.
