Peng tong tech sceglie kenosistec per il suo nuovo cluster

Peng Tong Tech aveva l’obiettivo di acquisire un impianto Cluster per il deposito di Film Sottili nel settore dei semiconduttori.

Il Cliente

Peng Tong Tech è un’azienda cinese di semiconduttori con una solida reputazione nel settore. Fondata nel 2017, l’azienda ha registrato una crescita costante nel corso degli anni ed è diventata un attore significativo nel mercato globale dei semiconduttori. PTT è impegnata nella progettazione, sviluppo, produzione e commercializzazione di una vasta gamma di prodotti ad alte prestazioni, tra cui apparecchiature di produzione di semiconduttori, pezzi di ricambio nuovi, rinnovati e personalizzati.

La Richiesta

Peng Tong Tech aveva l’obiettivo di acquisire un impianto Cluster per il deposito di Film Sottili nel settore dei semiconduttori. Era essenziale che questo sistema fosse in grado di mantenere il vuoto durante tutte le fasi, compreso il carico e lo scarico dei campioni, al fine di ottimizzare l’efficienza operativa e, allo stesso tempo, aumentare la produttività. I punti focali principali della richiesta erano i seguenti:

• Creare una macchina che potesse agevolare un flusso di lavoro continuo ed efficiente.
• Realizzare un sistema altamente versatile in grado di gestire campioni di dimensioni variabili e una serie di processi diversificati per l’applicazione di rivestimenti su substrati di diversi tipi.
• Sviluppare un impianto che semplificasse le operazioni di manutenzione, pulizia e la sostituzione dei componenti quando necessario.
• Progettare una macchina adatta al lavoro di ricerca, in particolare per il deposito di strati metallici o isolanti, ma con la capacità di gestire anche piccoli volumi di produzione.

La Soluzione

Kenosistec ha concepito una soluzione su misura che ha pienamente soddisfatto le aspettative di Peng Tong Tech. È stato creato il modello KS 600 HR, un cluster dotato di sputtering orizzontale e una doppia rotazione del substrato. Questo sistema include una stazione di carico e parcheggio isolata dal resto della macchina, che elimina le perdite di vuoto, poiché è l’unico componente che richiede contatto esterno.

Il KS 600 HR è in grado di lavorare con campioni di forma rotonda, quadrata o irregolare. Le camere di processo sono dotate di schermi rimovibili per agevolare le operazioni di pulizia, mentre la porta panoramica nella camera di processo consente di monitorare ogni fase del processo, dalla movimentazione del campione all’etching fino alla camera di sputtering.

Progettato per soddisfare requisiti e esigenze uniche, il KS 600 HR rappresenta la soluzione ideale per le attività di ricerca nel campo dei semiconduttori e sottolinea l’importante collaborazione tra Peng Tong Tech e Kenosistec.