Sputtering

Sputtering

Das Sputtern ist ein Niedertemperatur-Hochenergie-PVD-Verfahren, bei dem ein Target mit Ionen beschossen und verdampft wird, um anschließend in Form einer atomdünnen Schicht auf einem Substrat abgeschieden zu werden.

Verdampfungssysteme

Verdampfungssysteme

Die Verdampfung ist ein PVD-Verfahren mit geringer Energie und hoher Abscheidungsrate, bei dem das Material erhitzt wird.