Zufriedenheit auf der anderen Seite des Ozeans

University of Minnesota, der neue Standort unseres Multikammer-Clusters KS800

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Kenosistec hat an der Umrüstung einer Multikammer-Anlage gearbeitet: Die University of Minnesota hat einen KS800-Multikammer-Cluster erworben.

Die Anlage wurde bereits 2012 produziert und an HGST Research, eine Tochtergesellschaft von Hitachi mit Sitz in San José, Kalifornien, verkauft.

Sie wurde speziell für die mikroelektronische Forschung und für kleine Produktionsmengen im Bereich digitaler Speichertechnologien maßgeschneidert.

Das System war mit zwei Sputtering-Prozesskammern ausgestattet und dafür ausgelegt, transparente leitfähige Metalloxidschichten sowie nichtleitende Schichten auf Substraten mit einem Durchmesser von 6″ und 8″ abzuscheiden.

Später entschied das Unternehmen, das Werk zu schließen, um sich auf andere Unternehmensziele zu konzentrieren, und die Forschungs- und Entwicklungsabteilung der Universität nutzte diese Gelegenheit.

Heute hat die Anlage ein neues Einsatzfeld gefunden – in der Forschung zu Nanomagnetismus und Quanten-Spintronik.

Dank ihres äußerst flexiblen Designs konnte die Umrüstung mit großer Leichtigkeit durchgeführt werden, und das System wurde erfolgreich an neue Anforderungen und Anwendungen angepasst.