PLD-Systeme
PLD-Systeme
Die gepulste Laserabscheidung (Pulsed Laser Deposition, PLD) bietet ein vielseitiges und effizientes Verfahren zur Abscheidung dünner Schichten mit präziser Kontrolle über Zusammensetzung, Struktur und Eigenschaften. Dadurch ist sie eine besonders wertvolle Technik in der Materialforschung und bei der Herstellung moderner Bauelemente.
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Das abgetragene Material wird anschließend auf ein Substrat abgeschieden, das vor dem Target positioniert ist.
Der Laserablationsprozess erzeugt eine Plasmafahne, die aus Ionen und Atomen des Targetmaterials besteht und sich auf dem Substrat niederschlägt, wo sie eine Dünnschicht bildet.
- Vielseitigkeit:
Mit PLD lässt sich eine große Bandbreite an Materialien abscheiden, einschließlich komplexer Verbindungen und Mehrschichtstrukturen. - Kontrollierte Stöchiometrie:
PLD ermöglicht eine präzise Kontrolle der Zusammensetzung und Stöchiometrie der abgeschiedenen Schichten. - Hochwertige Schichten:
Mit PLD erzeugte Schichten zeichnen sich durch hohe Kristallinität und Reinheit aus.
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